±0.1精度主軸冷卻器在劃片機晶圓加工工藝中的應用

    隨著越來越多行業精密加工（gōng）的需求，特別是半導體晶元加工方麵，不單單對環境恒溫恒濕及淨（jìng）化等級（jí）方麵的環境要求，同時對加工機器主軸的精（jīng）確（què）恒溫冷卻更是要求嚴格，隻有（yǒu）保證了機器的精確度才能保證加（jiā）工出產品的精度。

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